Элипсометрия

Эллипсометрия — это оптический метод, изучающий диэлектрические свойства (состав показателя преломления или диэлектрической функции) тонкой пленки. Эллипсометрия измеряет изменение поляризации во время отражения или пропускания и сравнивает его с моделью. Его можно использовать для характеристики состава, шероховатости, толщины (глубины), кристаллической природы, концентрации легирования, электропроводности и других свойств материала. Он очень чувствителен к изменениям оптического отклика … Читать далее